False Defectとは 意味・読み方・使い方

The reflected light from the steel plate 3 is changed, thereby generates a false defect.例文帳に追加

これにより鋼板３からの反射光も変化し、疑似欠陥が発生したことになる。 - 特許庁

To provide a method for inspecting a phase shift mask, which never detects a false defect of a pattern as a pattern defect by mistake when a pattern defect of the phase shift mask is inspected.例文帳に追加

位相シフトマスクのパターン欠陥検査に際し、パターンの疑似欠陥を誤ってパターン欠陥として検出することがないようにした、位相シフトマスクの検査方法を提供する。 - 特許庁

To provide a defect inspection device that can efficiently detect an actual defect by removing a false defect due to unevenness caused by the growth of crystal grains or the like generating on the circuit pattern of a semiconductor integerated circuit, and to provide a defect inspection method.例文帳に追加

半導体集積回路の回路パターン上に発生する結晶粒成長等によって生じる凹凸による疑似欠陥を除去し、実欠陥を効率よく検出する欠陥検査装置、および、欠陥検査方法を提供する。 - 特許庁

To increase the defect detecting accuracy by preventing incorrect detection of a false defect apt to occur when two images are in a high-frequency region, in pattern inspection for comparing a multi-level image.例文帳に追加

多値画像を比較するパターン検査において、２枚の画像が高周波領域にある場合に発生しやすい擬似欠陥の誤検出を防止して、欠陥検出精度を高くする。 - 特許庁

To provide a defect inspection method and a method for manufacturing a semiconductor device for suppressing false detection due to color irregularity even when a wafer subjected to defect inspection has color irregularity on a surface thereof.例文帳に追加

欠陥検査を行うウエハ表面に色むらがある場合でも色むらによる虚報の検出を抑制できる欠陥検査方法及び半導体装置の製造方法を提供する。 - 特許庁

Resultantly, since discrimination between an actual defect and a false report can be performed accurately by performing the false report determination following the decision tree by utilizing the image characteristic quantity and the coordinate characteristic quantity, high-sensitivity inspection becomes possible, while suppressing false reports.例文帳に追加

検出欠陥の画像をもとに画像特徴量を算出し、検出欠陥の位置座標をもとに座標特徴量を算出し、画像特徴量と座標特徴量のいずれかに対するしきい値処理からなる決定木に従って虚報判定を行う構成とする - 特許庁

To provide a defect extraction method and a printed wiring board final appearance inspection device, supressing generation of false information due to fluctuation in manufacturing process for an object board to be inspected.例文帳に追加

被検査対象基板の製造工程のバラツキによる虚報の発生をおさえた欠陥抽出手法及びプリント配線板最終外観検査装置を提供すること。 - 特許庁

Consequently, in-plane unevenness is suppressed in all density regions and image quality defect (e.g. false contour line) caused by in-plane unevenness correction processing can be prevented from being actualized.例文帳に追加

これにより、全ての濃度領域における面内むらを抑制し、かつ、面内むら補正処理に起因する画質欠陥（擬似輪郭など）の顕在化を防止することができる。 - 特許庁