粗微動の英語

微動用梁部１１１は振動することで微動用サスペンション７を駆動し、粗動用梁部１２１は振動することで、粗動用サスペンション５を駆動する。例文帳に追加

The suspension 7 for the fine operation is driven by vibrating the beam parts for the fine operation, and the suspension 5 for the rough operation is driven by vibrating the beam parts for the rough operation. - 特許庁

粗動ステージ４１には、微動テーブル機構１０１が非接触に係合しているため、微動テーブル機構１０１は粗動ステージ４１に引き連れられる形で駆動される。例文帳に追加

A coarse movement stage 41 is engaged with the fine movement table mechanism 101 under noncontact condition whereby the fine table mechanism 101 is driven in a shape accompanied by the coarse movement stage 41. - 特許庁

微動ステージが、ウエハを保持する微動トップテーブルを、粗動トップテーブルに対してＸＹ面に平行な方向に変位させる。例文帳に追加

A jogging stage displaces a jogging top table which holds a wafer in the direction, which is parallel to the XY plane with respect to the rough movement top table. - 特許庁

二つの伝達機構の一方は、粗動プーリー１２０４と粗動プーリー１５０１と粗動伝達ベルト１２０５等から構成され、二つの伝達機構のもう一方は、微動プーリー１３０４と微動プーリー１５０２と微動伝達ベルト１３０５等から構成されている。例文帳に追加

One of the two transmission mechanisms is composed of coarse adjusting pulleys 1204, 1501, a coarse adjusting transmission belt 1205, etc., while the other is composed of fine adjusting pulleys 1304, 1502, a fine adjusting transmission belt 1305, etc. - 特許庁

微動機構の作動時における直動方向の負荷を抑制しながら粗動機構の作動時における位置決め精度を向上させることができる粗微動位置決め装置を提供する。例文帳に追加

To provide a rough/fine positioning device capable of improving positioning accuracy during the operation of a rough movement mechanism while suppressing loads in a linear movement direction during the operation of a fine movement mechanism. - 特許庁

粗動による長い可動範囲の全域に亘って微動変位の精度がよいとともに、重量物を対象負荷物とする場合にも対応可能な粗微動装置を提供する。例文帳に追加

To provide a coarse and fine adjustment device which has high accuracy in fine adjusting displacement all over the long movable range by coarse adjustment, and can cope with even a case where a heavy substance is set as a target load substance. - 特許庁

微動ステージのストローク範囲を拡大することなく、且つ、粗動ステージと微動ステージに要求される機械的精度を緩和しつつ、粗動ステージと微動ステージとの相対距離を一定に保つことが可能なステージ装置を提供する。例文帳に追加

To provide a stage apparatus capable of maintaining a fixed relative distance between a coarse motion stage and a fine motion stage while a mechanical accuracy required for the coarse motion stage and the fine motion stage is relaxed without enlarging a stroke range of the fine motion stage. - 特許庁

また、合焦位置の探索に際し、例えば戻り粗調、粗動粗調、微動粗調、微調といった複数のレンズ位置調整法を組み合わせてオートフォーカスの高速化に役立てることができる。例文帳に追加

When the focusing position is searched for, a plurality of lens position adjustment methods of, for example, return rough adjustment, rough adjustment by rough movement, rough adjustment by fine movement, and fine adjustment can be combined to contribute to faster automatic focusing. - 特許庁